仪器名称：场发射扫描电子显微镜

固定资产号：1609764S

规格型号：SU8010

产地国别：日本

生产制造商：日立（HITACHI）

仪器的详细技术指标：

1、超高的分辨率：15KV分辨率可达1nm；
    2、优秀的减速模式成像能力，1KV分辨率可达1.3nm；
    3、日立专利的ExB设计，不需喷镀，可以直接观测不导电样品；
    4、Upper探头可选择接受二次电子像或背散射电子像，增加细节观察能力；
    5、可以根据样品类型和观测要求选择打开或关闭减速功能，既保证分辨率又减少荷电；
    6、标配有冷指、电子枪内置加热器，物镜光阑具有自清洁功能，能长时间保持最佳工作状态；
    7、配有冷冻传输CryoSEM系统（江苏省唯一，并将筹建“英国QUORUM冷冻传输系统示范实验室”）：样品保持含水性、保持原貌，无需化学固定。

仪器的主要功能：

1、扫描电镜追求固体物质高分辨的形貌，形态图像(二次电子探测器SEI)-形貌分析(表面几何形态，形状，尺寸)。
    2、显示化学成分的空间变化，基于化学成分的相鉴定---化学成分像分布，微区化学成分分析。
    3、在半导体器件(IC)研究中的特殊应用。
    4、利用背散射电子衍射信号对样品物质进行晶体结构(原子在晶体中的排列方式)，晶体取向分布分析，基于晶体结构的相鉴定。